Perfluorobutadieen, gasetsenproces, halfgeleider etseng van gasfabrikanten en leveranciers in China

Li- (CFX) N Electro-chemische batterij
3V lithium mangaanbatterij
3V lithium subbatterij
Polymeer lithium lon batterijpakket
Energieopslagbatterij
- Outdoor Movement Energy Storage Batterij
1.5V alkalische batterij
Stabiele isotopen
- B-11 stabiele isotoop
Fluor-bevattende farmaceutische tussenproducten materialen
- Perfluorooctaan biomedische materialen
Halfgeleiderprocesmaterialen
Speciale functie koolstoffluoridematerialen
Nieuwe materialen voor energiebatterijen

China Perfluorobutadieen halfgeleider procesmaterialen Leveranciers

Perfluorobutadieen is een soort geconjugeerde olefines die zes fluoratomen en twee dubbele koolstof-koolstof-koolstof-binding bevatten, als een soort uitstekend etsengas, vanwege de unieke F/C-verhouding, perfluorobutadieen heeft een hogere etsselectiviteit, nauwkeurigheid en aspectverhouding Traditionele geperfluorineerde verzadigde fluorocarbon etsengas, perfluorobutadieen kan minder dan 100 nm zelfs smaller elektronisch circuit etsen. Bovendien heeft C4F6 een hogere selectieve verhouding van fotoresistische en siliciumnitride dan die van C4F8, die de etsstabiliteit, etsensnelheid en uniformiteit kan verbeteren en dus de productkwaliteit kan verbeteren.